设备厂家：卡尔蔡司
型号：Merlin Compact
简介：
ZEISS的MERLIN Compact场发射扫描电镜采用新一代专利镜筒（GEMINI）设计，具有优良的高、低加速电压性能；创新的InlensDuo探测器设计的内置镜筒电子束光路上的探测器，其具有最佳的灵敏度和最高的接收效率，且可接收来自样品表面的二次电子和背散射电子，因此具有业界最高等级的分辨率和图像质量。创造性的采用电磁、静电复合式物镜，杂散磁场小，可对铁磁体样品进行高分辨率成像。
扫描电镜可对金属、陶瓷、矿物、岩石、生物等样品以及各种固体材料进行观察和分析研究。对各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体/晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。X-射线能量色散谱仪(EDS)，可进行微区的常量元素定性和定量分析。EBSD相关配件可以做t-EBSD花样质量图、相分布图、取向分布图、制图以统计晶粒大小、高角度分辨率t-EBSD分布图检测变形带、同步采集EDS获得Cu、Mg等元素分布图、夹杂物等方面的分析。
